真空微波干燥箱主要由微波真空加热器、电控系统、微波发生器、真空系统、干燥盘及支架、机架等组成。
1、微波真空加热器：是一个由不锈钢等制成的矩形微波谐振腔，有6组微波发生器组成的谐振场，它具有谐振模式数多、磁场分布均匀、驻波系数小等特点；干燥盘支架采用组合式结构，拆装方便。易于清洁维护。支架上可放置16个标准干燥托盘。
2、电控系统：是供给本系列设备的电源，实现设备自动运行的装置，由电控箱，PLC及控制屏、各种电器装置组成。根据干燥物品的特点，设备将自动运行，设有图像监视，可随时观察物料的干燥情况，电器设备中有各种不同的安全保护措施，以保证设备及工作人员的安全。
3、微波发生器：由磁控管、变压器、电容器、高压硅整流器，发射激励器等组成。
4、真空系统：由缓冲罐、水环式真空泵、单向阀、汽水分离器等组成。汽水分离器检测到有一定水位后，可以启动真空泵。
水冷却系统承担变压器冷却和真空泵冷却，打开电动阀后，检测到一定流量的水，才能启动微波发生器。
